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中山安源儀器有限公司


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日立FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡

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更新時間:2023-07-25 10:09:43瀏覽次數:178次

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產品簡介

特點緊湊型設計

詳細介紹


特點

緊湊型設計,分辨率為4 nm*1

通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

操作簡捷,即使新手也能拍出高質量的圖片

新開發的導航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

大窗口(30 mm2)SDD能譜系統,便于快速分析元素成分*2

規格

項目

內容

分解能*3

4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)

加速電壓

0.3 kV ~ 20 kV

放大倍率

6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)

低真空模式

真空范圍:6 ~ 100 Pa

電子槍

預對中鎢燈絲

樣品臺

3-軸自動馬達臺
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°

樣品尺寸

直徑80 mm

樣品高度

40 mm

尺寸

主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm

探測器選配

· 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD)

· 能量分散型X線探測器(EDS)


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